在半导体超纯水（UPW）系统中，电导率测量是监控水质纯度的核心手段。其低量程（通常指0.055μS/cm以下）应用实践，要求将测量精度推向极限，直接关系到芯片生产的良品率。
核心挑战与解决方案
超纯水的导电能力极弱，主要挑战在于：信号极其微弱，极易受温度波动和空气中二氧化碳（CO₂）溶解的干扰。因此，其实践核心是通过精密设计与系统防护来捕获真实信号。
选用专用低常数电极：必须使用电极常数为0.01/cm或0.05/cm的专用超纯水电极。其微小电极间距能在低离子浓度下产生更稳定、更强的电信号，这是进行有效测量的物理基础。
精密温度补偿与密封：超纯水的温度系数高达约5%/℃，±0.1℃的波动就会导致显著误差。因此，必须配备高精度温度探头（如PT1000）和先进的补偿算法。同时，测量池必须密封，以隔绝空气中的CO₂溶入，否则读数会持续、虚假地升高。
应用先进测量技术：主流方案有两种。其一是四电极式技术，通过独立的电流与电压电极，消除传统两电极的极化效应与接触电阻影响，实现高精度在线监测。其二是电磁式（无极式）技术，其探头不与液体直接接触，从根本上杜绝了电极污染、结垢和化学腐蚀，实现了近“免维护”的超长期稳定测量，使用寿命可达10年以上。
系统性集成与校准：在系统中，电极被战略性布置于RO（反渗透）、EDI（电去离子）和抛光混床等关键纯化单元之后，形成完整的监控链。为确保长期可靠性，系统需支持自动或定期校准。采用具备数字信号和内置校准存储功能的智能电极，能极大简化维护流程。
总之，半导体超纯水的低量程电导率测量，是一项融合了专用低常数电极、精密温控与密封、以及四电极或电磁式等先进技术的系统工程，其目标是实现接近理论极限的稳定、可信监测。
